浙江大学微电子集成系统研究所（简称微系统所）是成立于2018年11月的校级研究所。研究所目前共有教职员工42人，其中教授7人、研究员3人、副教授3人、副研究员1人、特聘研究员2人、特聘副研究员1人、讲师1人、博士后及科研助理24人。现任所长为储涛教授，副所长为车录峰教授和余辉副教授。研究所十分注重人才和队伍建设，已聚集众多海内外优秀人才，今后也将不断吸纳海内外优秀人才、推进研究所人才建设。 

微系统所的主要研究方向及领域包括硅基集成光电子器件、化合物半导体光电子器件、光电子集成微系统、MEMS微纳传感及智能感知系统、微波光子学、光通信与光交换芯片系统、石墨烯器件、纳米光子学和集成量子光学、硫基光子学、超表面成像系统、高效太阳能电池、光电探测器等内容。

微系统所在国家科技部重点研发计划、国家自然科学基金、浙江省重点研发计划、之江实验室重大项目等项目支持下，在光/机/电微系统等多学科上交叉融合，建有数支在国内外学术界都享有较高知名度的研究团队，建立起完善的科研及产品研发条件，承担多项国家重点研发计划、国家自然科学重点基金项目等项目。研究所教师和研究生每年在国内外学术杂志和会议上发表高水平学术论文和特邀报告数十篇，在相关领域具有重要的学术影响力。

微系统所积极开展对外合作，多位教师参与负责之江实验室多项重大项目，负责和中国电子科技集团合作建设光电子集成微系统技术联合研发中心，并和华为、瑞芯微等多家企业展开紧密合作。研究所将继续践行“求是创新”的校训，贯彻 “勤学、修德、明辨、笃实”的浙大人共同价值观和发扬“海纳江河、启真厚德、开物前民、树我邦国”的浙大精神，力争为高科技尖端人才的培养及信息技术的进步做出更大的贡献。